歐姆龍成功事例：半導體爐管wafer凸出的遠距離穩定檢測方案
2025/6/20 9:51:01
應用介紹
【行業】SEMI
【設備】爐管
【用途】用于晶圓的批量熱處理
使用場景
檢測石英晶圓舟晶圓是否有突出，防止自動取片時發生異常。
場景：晶舟上wafer的突出檢測
解決課題
1、多達150片wafer時的高度檢測，容易發生wafer的橫向移動,需要穩定檢測。
2、因檢測距離遠，調試時光軸對準難度大。
價值提案
核心產品：距離設定型光電開關 E3Z-LR
●1級激光光源，保證遠距離的檢測下可檢測1mm的位置變化。
● 激光束方向的變化可被抑制并且光點直徑可自由更改，方便遠距離時光軸的調整。
相關產品
E3Z-LT / LR / LL
https://www.fa.omron.com.cn/products/family/1747/
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審核編輯(
唐楠
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