控制半導體成型的最佳溫度,跟不良品Sayonara!
在半導體成型前,有一項非常重要的“塑封”環節...塑封的好壞將會極大地影響最終產品的品質。
我們目前較常用的塑封方法,是將預加熱的樹脂片投入金屬模具中,然后轉移通過柱塞加壓流動化的樹脂,使樹脂熱硬化,最終完成塑封,也稱之為“轉移成型法”...
在整個轉移成型的過程中,掌控「溫度變化」至關重要:
課題①:如何【溫度均一控制】
除了加熱器周圍均熱之外,必須保證工件也承受均一溫度,不然容易導致局部膨脹產生成型缺陷,也就是常見的【產品斑紋】...
課題②:如何【抗干擾】
必須確保樹脂注入模具后,溫度不會急遽變化,不然PID控制至溫度設定值需要花費很多時間...
而現實狀況是,哪怕你已經選用了市面上控制精度最高的溫控器,也很難做到這兩點。因此,你依然得接受...
高速高精度遙不可及?No!
歐姆龍過程控制技術就能做到
【溫度均一控制】的解決方案
預先取得溫度變化模式,計算出加熱器的溫度設定值,并針對模具每一個點進行梯度控制...
從而使工件表面達到期待的設定溫度。
【抗干擾】的解決方案
在發生干擾時,加入歐姆龍過程控制技術,亦對輸出量進行控制,使溫度始終貼近于設定值。
從實際的PV值來看,加入過程控制技術之后,對于干擾的抑制是很明顯的。
透過控制模具溫度的均熱化及干擾產生的溫度變化,抑制產品斑紋,不僅有助于提升產品質量、改善良率,也加快了生產節拍,高速高精度觸手可及!

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