基于3D圖像技術(shù)的1394相機(jī)應(yīng)用在太陽(yáng)能電池片的曲度測(cè)量從而帶來(lái)成本的節(jié)約。
　

　　20世紀(jì)60年代.最初被應(yīng)用在衛(wèi)星的供電系統(tǒng)，由于降低成本的晶圓生產(chǎn)，太陽(yáng)能電池已經(jīng)成功在其他一些地區(qū)，尤其是偏遠(yuǎn)的私人住宅，抽水站，以及電信網(wǎng)絡(luò)設(shè)施。隨著進(jìn)一步的成本降低以及政府的補(bǔ)貼政策，太陽(yáng)能發(fā)電對(duì)于私人住宅和大型生產(chǎn)基地也產(chǎn)生了很大的吸引力。作為最大并且發(fā)展最快的能源部分之一，據(jù)統(tǒng)計(jì)，光伏太陽(yáng)能市場(chǎng)在過(guò)去幾年中保持了約40-60 ％的平均增長(zhǎng)率。

　　在晶體硅太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)，使用的材料無(wú)非多晶硅或單晶硅。多晶硅材料是由鑄造方法制成，單晶硅制備是一個(gè)提拉生長(zhǎng)的過(guò)程。 之后刨錠切片形成晶圓，經(jīng)過(guò)摻雜形成p / n結(jié)。然后由絲網(wǎng)印刷金屬厚膜貼到晶圓形成電極。雖然許多公司都參與了全球太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)的生產(chǎn)的研發(fā)，但只有少數(shù)大公司可以制造晶片，電池和太陽(yáng)能電池板的模組。 Thor Vollset ，Tordivel公司首席執(zhí)行官說(shuō)： “從硅錠到成品太陽(yáng)能電池板，自動(dòng)化和測(cè)試產(chǎn)品質(zhì)量的需求是一直存在的。 ”雖然基于視覺(jué)檢測(cè)系統(tǒng)可用來(lái)檢測(cè)劃痕和碎邊，其他也有用來(lái)測(cè)量晶圓的厚度。從Tordivel獨(dú)立出來(lái)的Tordivel Solar公司研發(fā)的檢測(cè)設(shè)備旨在測(cè)量晶圓或太陽(yáng)能電池的曲度（見(jiàn)圖1）。
　

　　圖1 Tordivel solar研發(fā)的機(jī)器視覺(jué)系統(tǒng) ，用來(lái)測(cè)量太陽(yáng)能硅片的曲度。

　　Vollset說(shuō)： ” 在模組的工序前，對(duì)于太陽(yáng)能電池片必須進(jìn)行統(tǒng)一性測(cè)試。 因?yàn)檫@些晶圓的運(yùn)輸生產(chǎn)過(guò)程中通過(guò)對(duì)皮帶驅(qū)動(dòng)傳送帶，任何非均勻或曲度都會(huì)導(dǎo)致只有180微米厚的晶圓在生產(chǎn)過(guò)程中的破損。 而由于技術(shù)的升級(jí)當(dāng)晶片厚度達(dá)到100微米的時(shí)候，可以預(yù)計(jì)破損率將會(huì)增加。 “而結(jié)果是停止生產(chǎn)以及廢料的大量產(chǎn)生。通過(guò)測(cè)量曲度，可以有效的減少曲度所帶來(lái)的影響。

　　在德國(guó)斯圖加特舉辦的Vision 2008， Tordivel展示的離線的機(jī)器視覺(jué)系統(tǒng)，旨在測(cè)量太陽(yáng)能電池片的曲度。“離線系統(tǒng)需要一個(gè)操作員手動(dòng)加載每個(gè)晶圓，” Vollset說(shuō) “生產(chǎn)版本的系統(tǒng)將允許晶圓通過(guò)生產(chǎn)線自動(dòng)拍攝和統(tǒng)一衡量，也就是一個(gè)在線檢測(cè)系統(tǒng)” 。 Vollset和他的同事開(kāi)發(fā)出一種系統(tǒng)，采用了三維成像技術(shù)來(lái)衡量晶圓的一致性。在晶圓被置于系統(tǒng)下方，StockerYale公司的Lasiris激光將發(fā)射11個(gè)細(xì)激光線到晶圓表面。 兩個(gè)Flea2 140萬(wàn)像素相機(jī)分別與豎直方向成30 °放置，用來(lái)捕捉兩個(gè)圖像投影線（見(jiàn)圖.2 ） 。 圖像通過(guò)PCI – Express的1394采集卡傳輸?shù)絺€(gè)人電腦主機(jī)上。

圖2 采用了三維成像技術(shù)來(lái)衡量晶圓的一致性